Litografia Nanoimprint
LITOGRAFIA NANOIMPRINT – NIL De la inceputul microtehnologiei odata cu inventarea tranzistorului in 1948, miniaturizarea structurilor a progresat rapid. Progresul in microelectronica este in principal determinata de litografia optica, care se afla in centrul miniaturizarii. Pentru a obtine structuri cat mai mici prin litografia optica, doi factori sunt importanti: masca si sursa de lumina. Masca…
